ExLASER®(エックス?レーザー)
ExLASER® は多機能型レーザー平面瞬間加熱裝置です。
特長
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用途例
実績例
獨立行政法人 日本原子力研究開発機構 様
レーザ出力：100W
本體サイズ：H251×W200×D253（mm）
レーザー加熱実験
EXL-CT-010DS55を用い、真空チャンバー中に設置した試料をレーザー加熱。試料の裏面（レーザー照射面と反対側）から溫度分布を測定した。
1. サファイア基板 (φ2インチ) --- 透明基板への適用
溫度分布
サファイア基板の溫度分布
（レーザ出力 : 1000W）
急速昇溫降溫
サファイア基板の急速昇降溫（平均基板溫度）
（レーザ出力 : 1000W）
2. 溫度傾斜 --- コンビナトリアル用光學系の使用
溫度分布
金屬板の溫度分布
（レーザ出力 : 86W 集光）
溫度傾斜グラフ
金屬板の溫度傾斜
標準仕様
| 型番：EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| レーザ照射方式 | ダイレクトタイプ | 本體サイズ | H 625mm ×W 700mm ×D 320mm |
| レーザ出力 | 最大 1kW | 付屬品 | 専用チラー |
| レーザ波長 | 808nm | 定格 | 本體：1P200V20A チラー：1P200V15A |
| レーザ形狀 | 正方形 | ||
| 光學系（均一度） | ホモジナイザ (±5%) | 備考 | JST獨創モデル化 開発製品（H17年度） |
| 加熱面積 | □ 55mm | ||
| ワークディスタンス | 400mm～ | ||
※上記は標準仕様です。お客様のご要望により変更が可能です。
オプション ※ご要望に応じて製作させていただきます
カタログ
こちらからExLASER®のカタログ（PDF）をご覧いただけます。
