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    ホットプレート

    低溫から高溫、大気及び真空での使用に対応したヒーターです。
    均熱溫度分布を重點に製作しています。

    特長

    • 仕様設計時に綿密な熱設計をおこない、広範囲な均熱性を重視した仕様解析をいたします。
    • 熱安定性、再現性を考慮して製作しています。
    • 仕様により要求溫度に対応できる発熱體と熱板材質を綿密に選定して製作いたします。

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    用途

    • 半導體ウェーハ製造加熱用、液晶ディスプレイ基板加熱用
    • CVD、スパッタリング、プラズマエッチングの熱処理用
    • プラスチック、ゴム等の予熱?成型ホットプレス金型
    • 各種化學機器、試験裝置の加熱基盤
    • 電子材料、新素材の開発試験用

    製作仕様 (全品受注生産)

    溫度範囲 ~900℃
    熱板材質 アルミ、SUS304、SUS316L、ハステロイC、インコネル600、石英
    表面処理 アルマイト、タフラム、ニッケル、クロム等処理
    使用雰囲気 大気中、真空中、不活性ガス及び各種処理ガス中
    溫度分布濃度 仕様要求溫度に応じて有効ゾーン內設定溫度の±1%(℃)可能
    溫度センサー 主にシース熱電対を熱板內に設置使用

    付屬関連製品?部品

    • 溫度制御盤:PID 制御(オートチューニング制御方式)/ON-OFF制御等
    • リフレクター:必要枚數
    • 端子形狀:Oリング、ハーメチック、フランジタイプ
    • 電流導入端子 (真空端子):各種電流導入端子(真空端子)

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