熱電対（T/C）付 ウェハー
半導體製造裝置、および付帯裝置の開発?検査での溫度分布を測定するため、熱電対を取り付けたウェハーです。
特長
商品に関するお問い合わせ、オーダーメイドなど各種お見積り依頼やお問い合わせはこちらからお気軽にどうぞ。
工業用?産業用ヒーターのことなら坂口電熱株式會社 > 製品情報 > 溫度センサー?溫度調節器 > 溫度センサー > 熱電対（T/C）付 ウェハー
用途
標準仕様（全品受注生産）
| サイズ | 300mmウェーハに対応 |
|---|---|
| 基板材質 | シリコン、ガリヒソ、ガラス、アルチック、他 |
| 使用溫度 | 常溫～1200度（MAX） |
| 種類 | Ｋタイプ、Ｒタイプ、他 |
|---|---|
| シース仕様 | 0.25mm以上 |
| 素線仕様 | 0.10mm以上 |
| T/C數 | 必要測定ポイント數対応 |
| 絶縁材 | ガラス繊維、シリグラス繊維、石英ビーズ、フッ素樹脂チューブ、他 |
| 端末 | 専用コネクターなど、ご要望に合わせます。 |
注意
1）熱電対の先端取付部は2.5N（0.25kgf）1本以上の力をかけないでください。
2）還元ガス?酸化性ガス雰囲気でのご使用は、予め材質の耐用性をご確認ください。
