熱電対（T/C）付 ウェハー
半導體製造裝置、および付帯裝置の開発?検査での溫度分布を測定するため、熱電対を取り付けたウェハーです。
特長
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用途
標準仕様（全品受注生産）
| サイズ | 300mmウェーハに対応 |
|---|---|
| 基板材質 | シリコン、ガリヒソ、ガラス、アルチック、他 |
| 使用溫度 | 常溫～1200度（MAX） |
| 種類 | Ｋタイプ、Ｒタイプ、他 |
|---|---|
| シース仕様 | 0.25mm以上 |
| 素線仕様 | 0.10mm以上 |
| T/C數(shù) | 必要測定ポイント數(shù)対応 |
| 絶縁材 | ガラス繊維、シリグラス繊維、石英ビーズ、フッ素樹脂チューブ、他 |
| 端末 | 専用コネクターなど、ご要望に合わせます。 |
注意
1）熱電対の先端取付部は2.5N（0.25kgf）1本以上の力をかけないでください。
2）還元ガス?酸化性ガス雰囲気でのご使用は、予め材質の耐用性をご確認ください。
