POCO SUPER SiC ダミーウェハー
POCOのSUPER SiCダミーウェハーは、高純度で緻密性に優(yōu)れたニューカーボンを『コンバージョン製法』によって、SiCに転化させた次世代製品です。
特長
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材料特性
| 密度 （g/cm3） | 熱膨張係數(shù) （X10-6/℃） | 熱伝導(dǎo)率 （W/M-度K） | 曲げ強(qiáng)度 （Mpa） | ヤング率 （Mpa） | スロット表面仕上げ （Raμm） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2.56 | 4.9 | 44.1 | 120 | 2×105 | 0.41 |
仕様
| ウェハー徑 | 4"(100mm) | 5"(125mm) | 6"(150mm) | 8"(200mm) | 12"(300mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| ウェハー厚さ | 0.533mm 0.633mm |
0.635mm | 0.635mm 0.637mm |
0.724mm | 0.775mm |
| 表面コート | ①SiCコートなし ②SiCコ－ト | ||||
| オリフラ | ①オリフラなし ②オリフラ付き | ||||
耐食性
洗浄液に対する重量減少率の比較
弗硝酸洗浄液(HF:NO3:H2O=1:1:1)
