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POCO SUPER SiC

SUPER SiCは、POCO社が開(kāi)発したSiCで、焼結(jié)SiCと異なり、焼結(jié)剤などのバインダーは一切使用していません。
高純度のカーボンを化學(xué)反応にてSiCに転化していますので、パーティクルやコンタミネーションが非常に少なく半導(dǎo)體製造時(shí)のキャリア等に多く使用されています。

特長(zhǎng)

100%ピュアなSiC製品
POCO社の高純度ニューカーボン母材を獨(dú)自のコンバージョン製法によっていSiCに転化しているためいかなる使用條件下でも不純物が発生しません。
強(qiáng)酸に強(qiáng)い構(gòu)造
クォーツとは異なり、強(qiáng)酸の洗浄中で使用しても浸食されません。容積安定性に優(yōu)れているためコストパフォーマンスにも貢獻(xiàn)しています。
高精度の機(jī)械加工が可能
機(jī)械加工された母材をSiCに転化するため、複雑な形狀のシリコンカーバイト製品が製作できます。
パーティクル及びコンタミネーションを抑制
パーティクルが付著しやすく、剝がれにくい構(gòu)造になっています。そのためパーティクルは＞0.5μmについて50%以上＜0.5μmについて10％以上低減できます。金屬のコンタミネーションも大幅に抑えることができます。
1900℃の高溫使用が可能
SUPERSiCは、特定の環(huán)境下（窒素雰囲気、アルゴン雰囲気、ヘリウム雰囲気）で、1900℃の高溫使用が可能です。

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材料特性例

密度	熱膨張係數(shù)	熱伝導(dǎo)率
2.56g/cm³	4.9×10^-6/℃	44.1w/m?K

パーティクル/コンタミネーションの比較

		SUPER SiC	QZ（石英）
パーティクル ※1	0.5～5.0μm	10～40	100
パーティクル ※1	0.35～0.5μm	60～90	100
コンタミネーション ※2	アルカリ金屬	2～4×10⁹	1～2×10¹⁰
コンタミネーション ※2	重金屬	2×10¹⁰	1×10¹¹

半導(dǎo)體製造使用例

ウエハーサイズ	橫型キャリアー	縦型キャリアー	ダミーウエハー
100mm（4"）	○	－	○
125mm（5"）	○	－	○
150mm（6"）	○	○	○
200mm（8"）	○	○	○
300mm（12"）	－	－	○

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